紫外臭氧檢測(cè)儀在實(shí)驗(yàn)室中的應(yīng)用與布局方案

一、引言

臭氧具有強(qiáng)氧化性，廣泛應(yīng)用于水處理、空氣凈化、半導(dǎo)體工藝以及化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)實(shí)驗(yàn)中。在這些實(shí)驗(yàn)和工藝中，精準(zhǔn)測(cè)量臭氧濃度是保證實(shí)驗(yàn)可重復(fù)性與安全性的關(guān)鍵。

紫外臭氧檢測(cè)儀（UV Ozone Analyzer）基于臭氧分子在 254 nm 紫外波段的特定吸收特性，可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)、非接觸式、高精度的濃度測(cè)量。相比傳統(tǒng)電化學(xué)傳感器，紫外檢測(cè)儀具有響應(yīng)速度快、壽命長(zhǎng)、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)。

二、系統(tǒng)組成與檢測(cè)原理

2.1 儀器主要組成

紫外臭氧檢測(cè)儀主要由以下部分組成：

1. 光源系統(tǒng)：一般采用低壓汞燈或氘燈，提供穩(wěn)定的紫外光源。

2. 檢測(cè)池（光程腔）：臭氧氣體流經(jīng)檢測(cè)池，紫外光透過(guò)后光強(qiáng)發(fā)生衰減。

3. 光電檢測(cè)模塊：測(cè)量透過(guò)光強(qiáng)并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。

4. 信號(hào)輸出系統(tǒng)：可通過(guò) 4-20 mA 或 RS485 輸出，將數(shù)據(jù)傳輸至 PLC、計(jì)算機(jī)或記錄儀。

2.2 檢測(cè)原理

紫外臭氧檢測(cè)儀基于比爾–朗伯定律（Beer–Lambert Law）：

A=ε?C?L

* (A) 為吸光度

* (ε) 為臭氧的摩爾吸光系數(shù)

* (C) 為臭氧濃度

* (L) 為光程長(zhǎng)度

通過(guò)測(cè)量光強(qiáng)變化，可以精確計(jì)算氣體中的臭氧濃度，實(shí)現(xiàn)連續(xù)、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

三、實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用與布局方案

3.1 布局原則

實(shí)驗(yàn)室中使用紫外臭氧檢測(cè)儀時(shí)，應(yīng)注意以下布局原則：

* 靠近臭氧發(fā)生器：減少管路長(zhǎng)度，降低濃度損失。

* 氣路穩(wěn)定性：配備流量計(jì)和調(diào)壓閥，保證氣體流速均勻。

* 環(huán)境安全：設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)與臭氧泄漏檢測(cè)器，確保操作安全。

* 數(shù)據(jù)采集：儀器應(yīng)與實(shí)驗(yàn)記錄系統(tǒng)或PLC聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控與自動(dòng)記錄。

3.2 典型應(yīng)用案例

1. 臭氧發(fā)生器性能測(cè)試：檢測(cè)儀可實(shí)時(shí)顯示輸出濃度，記錄曲線并評(píng)估穩(wěn)定性。

2. 水處理模擬實(shí)驗(yàn)：通過(guò)在線監(jiān)測(cè)臭氧濃度，優(yōu)化投加量，保證氧化效果和實(shí)驗(yàn)安全。

3. 半導(dǎo)體薄膜實(shí)驗(yàn)：在 ALD 或 MBE 工藝中，實(shí)時(shí)檢測(cè)腔體臭氧濃度，保證薄膜氧化均勻性。

3.3 數(shù)據(jù)采集與控制

紫外臭氧檢測(cè)儀可輸出模擬或數(shù)字信號(hào)：

* 模擬信號(hào) 4-20 mA：可直接接入 PLC，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。

* 數(shù)字信號(hào)（RS485/Modbus）：便于計(jì)算機(jī)或上位機(jī)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄。

通過(guò)合理布局與數(shù)據(jù)采集方案，實(shí)驗(yàn)室可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)監(jiān)控、報(bào)警觸發(fā)和實(shí)驗(yàn)自動(dòng)化。

四、維護(hù)與注意事項(xiàng)

1. 光源維護(hù)：建議每 12 個(gè)月更換光源，確保光強(qiáng)穩(wěn)定。

2. 氣路清潔：保持檢測(cè)池與管路潔凈，避免水蒸氣或雜質(zhì)影響讀數(shù)。

3. 定期校準(zhǔn)：使用標(biāo)準(zhǔn)臭氧氣體進(jìn)行零點(diǎn)和量程校準(zhǔn)，確保數(shù)據(jù)可靠。

4. 安全防護(hù)：實(shí)驗(yàn)室操作人員需佩戴防護(hù)裝備，確保臭氧泄漏時(shí)安全。

五、結(jié)論

紫外臭氧檢測(cè)儀在實(shí)驗(yàn)室中的應(yīng)用與布局方案不僅提供了高精度的臭氧濃度測(cè)量手段，還可通過(guò)合理的數(shù)據(jù)采集與系統(tǒng)控制優(yōu)化實(shí)驗(yàn)流程。正確選型與維護(hù)可確保實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性，同時(shí)保障操作安全，為科研和工程實(shí)驗(yàn)提供強(qiáng)有力的技術(shù)支撐。